技術指(zhi)標(biao)
1、水(shui)含量(liang)小於1ppm; 氧含量小於1ppm。
2、過渡艙(cang)可(ke)承受(shou):真空度≥100pa。
3、密(mi)閉(bi)性:泄(xie)漏(lou)率(lv)≤0.05Vol%/h。
配置清單
箱體 | 機架(jia) | 工具過渡(du)艙 | 物(wu)料過渡艙 | 擱(ge)物架 | 可視麵板(ban) |
手套孔(kong) | 手(shou)套 | 電源插(cha)座(zuo) | 照明(ming)係統 | HEPA過濾器(qi) | 真空表 |
壓(ya)力(li)表 | 腳(jiao)踏(ta)控製器 | 氣體淨(jing)化係統(tong) | PLC控製(zhi)係統 | 有機氣體吸附器 | 真空泵(beng) |
水傳感(gan)儀 | 氧傳(chuan)感儀(yi) | 壓力傳感儀 | 加熱係統 | 冷(leng)凍係統 | 其他選(xuan)配(pei) |